HAP-100系列气垫隔振平台

 HAP-100系列高精度气垫隔振平台于2000年研制成功。该系列产品获得了上海市科技进步二等奖。HAP-100系列高精度气垫隔振平台具有非常优异的垂直和水平方向的隔振性能。产品广泛应用在光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域。

产品数据表

型号Model

台板尺寸(mm)

平台整体高度（mm）

最大载荷(kg)

螺孔孔径

螺孔距(mm)

支撑腿数量（只）

长度

宽度

台板厚度

HAP-0906

900

600

50

800

200

M6

25

4

HAP-0906

900

600

100

800

400

M6

25

4

HAP-1208

1200

800

100

800

800

M6

25

4

HAP-1509

1500

900

100

800

800

M6

25

4

HAP-1510

1500

1000

100

800

800

M6

25

4

HAP-1511

1500

1100

100

800

800

M6

25

4

HAP-1810

1800

1000

200

800

800

M6

25

4

HAP-1812

1800

1200

200

800

800

M6

25

4

HAP-2010

2000

1000

200

800

800

M6

25

4

HAP-2012

2000

1200

200

800

800

M6

25

4

HAP-2015

2000

1500

200

800

800

M6

25

4

HAP-2412

2400

1200

200

800

800

M6

25

4

HAP-2415

2400

1500

300

850

800

M6

25

4

HAP-2518

2500

1800

300

850

800

M6

25

6

HAP-3012

3000

1200

300

850

800

M6

25

6

HAP-3013

3000

1300

300

850

800

M6

25

6

HAP-3015

3000

1500

300

850

800

M6

25

6

HAP-3512

3500

1200

300

850

800

M6

25

6

HAP-3513

3500

1300

300

850

800

M6

25

6

HAP-3515

3500

1500

300

850

800

M6

25

6

HAP-4015

4000

1500

300

850

800

M6

25

8

HAP-5015

5000

1500

300

850

800

M6

25

8

HAP-6015

6000

1500

400

850

3000

M6

25

8

主要性能指标

载荷能力：

最大1000kg

充气压力：

最大0.6Mpa

固有频率：   

垂直方向：空载：1～1.7Hz     满载：0.8Hz

水平方向：空载：1.1～1.7Hz   满载：1.0Hz

最大动挠度系数:

1.1×10﹣³

最大相对位移:

0.22nm

台面平面度:

0.10mm/m²